Lichtmikroskopische Oberflächenanalysen sind eine Methode der Oberflächenanalytik und dienen der Materialuntersuchung. Das zu untersuchende Objekt wird mit Hilfe von Licht bis zu 1000-fach vergrößert dargestellt. Diese Methode eignet sich vor allem für nicht raue Oberflächen, da die Tiefenschärfe bei dieser Art von Mikroskopie schnell abnimmt.

Ein Lichtmikroskop stellt mit Hilfe von optischen Linsen und dem einfallenden Licht die Oberfläche von Objekten vergrößert dar. Die Wellenlänge des Lichts und die dadurch erreichbare optische Auflösung begrenzen die Höhe der Vergrößerung physikalisch.
Es gibt sowohl analoge als auch digitale Lichtmikroskope. Bei digitalen Lichtmikroskopen können die erstellten Aufnahmen mit Hilfe von Software ausgewertet werden. Ausserdem erlaubt das digitale Lichtmikroskop die Aufnahme von dreidimensionalen Bildern.

Bei der Lichtmikroskopischen Oberflächenanalyse werden die unterschiedlichen Schichtsysteme einer Oberfläche im Querschnitt betrachtet. Da die Oberfläche hierzu zerstört werden muss, gehört dieses Verfahren zu den zerstörenden Messverfahren. So wird zum Beispiel durch Ätzen der Kontrast der Darstellung erhöht. Die Methode der Lichtmikroskopischen Schichtdickenmessung wird oftmals als Schiedsverfahren eingesetzt, um die Ergebnisse anderer Schichdickenmessverfahren zu beurteilen.

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